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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子薄膜用高純鈷靶材的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書及訂貨單(或合同)內(nèi)容。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子薄膜制造用的各類高純鈷靶。