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本標準規(guī)定了金鈹合金蒸發(fā)料的技術(shù)要求、試驗方法和檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸、貯存及質(zhì)量證明書與訂貨單(或合同)內(nèi)容。 本標準適用于半導體行業(yè)用金鈹合金蒸發(fā)材料。