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金鈹蒸發(fā)料

標 準 號: YS/T 1069-2015
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 貴研鉑業(yè)股份有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院
發(fā)布日期: 2015-04-30
實施日期: 2015-10-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2018年05月08日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了金鈹合金蒸發(fā)料的技術(shù)要求、試驗方法和檢驗規(guī)則及標志、包裝、運輸、貯存及質(zhì)量證明書與訂貨單(或合同)內(nèi)容。
本標準適用于半導體行業(yè)用金鈹合金蒸發(fā)材料。

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