本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鈦蒸發(fā)料的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及質(zhì)量證明書與合同（或訂貨單）內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)用的鈦蒸發(fā)料。