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氮化鎵單晶襯底片x射線雙晶搖擺曲線半高寬測試方法

標 準 號： GB/T 32188-2015
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位： 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所、蘇州納維科技有限公司、中國科學院物理研究所
發(fā)布日期： 2015-12-10
實施日期： 2016-11-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2017年04月07日
內容摘要

本標準規(guī)定了利用雙晶 X射線衍射儀測試氮化鎵單晶襯底片搖擺曲線半高寬的方法。
本標準適用于化學氣相沉積及其他方法生長制備的氮化鎵單晶襯底片。

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