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電子級多晶硅【作廢】

標 準 號: GB/T 12963-2014
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會
起草單位: 峨嵋半導體材料研究所、四川新光硅業(yè)科技有限責任公司、有研半導體材料股份有限公司
發(fā)布日期: 2014-12-31
實施日期: 2015-09-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2015年10月12日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了多晶硅的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸、儲存、質(zhì)量證明書和訂貨單(或合同)內(nèi)容。
本標準適用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。

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