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用區(qū)熔拉晶法和光譜分析法評(píng)價(jià)多晶硅棒的規(guī)程

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 29057-2012
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司、樂(lè)山樂(lè)電天威硅業(yè)科技有限責(zé)任公司、天威四川硅業(yè)有限責(zé)任公司
發(fā)布日期： 2012-12-31
實(shí)施日期： 2013-10-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2014年01月21日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)采用區(qū)熔拉晶法和光譜分析法來(lái)測(cè)量多晶硅棒中的施主、受主雜質(zhì)濃度。測(cè)得的施主、受主雜質(zhì)濃度可以用來(lái)計(jì)算按一定的目標(biāo)電阻率生長(zhǎng)單晶硅棒所需要的摻雜量,也可以用來(lái)推算非摻雜硅棒的電阻率。

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