本標準規(guī)定了鋁蒸發(fā)料的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存及質(zhì)量證明書與訂貨單(或合同)內(nèi)容。
本標準適用于半導體行業(yè)用的各類鋁蒸發(fā)料。其他用途的鋁蒸發(fā)料也可參照使用。
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