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金靶材

標 準 號： GB/T 23611-2009
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會
起草單位： 有研億金新材料股份有限公司等
發(fā)布日期： 2009-04-15
實施日期： 2010-02-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2012年01月16日
內(nèi)容摘要

     本標準規(guī)定了金靶材要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存及訂貨單（或合同）內(nèi)容。 
     本標準適用于制造半導(dǎo)體電子器件用的各類金濺射靶材。

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