本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了閉式單軸多點寬臺面高速超精密壓力機靜載變形測量方法的術(shù)語和定義、整機剛度測量方法、滑塊撓度測量方法和工作臺撓度測量方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于閉式單軸多點寬臺面高速超精密壓力機。