本文件描述了采用顯微散射暗場(chǎng)成像法對(duì)光學(xué)元件表面疵病進(jìn)行定量檢測(cè)的檢測(cè)原理、試驗(yàn)條件、
儀器設(shè)備、樣品、檢測(cè)步驟和試驗(yàn)數(shù)據(jù)處理和檢測(cè)報(bào)告。
本文件適用于平板類(lèi)雙面拋光光學(xué)元件表面疵病的長(zhǎng)度、寬度、擋光面積以及疵病位置檢測(cè)。