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刻蝕機用硅電極及硅環(huán)

標 準 號： GB/T 41652-2022
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 有研半導體硅材料股份公司、山東有研半導體材料有限公司
發(fā)布日期： 2022-07-11
實施日期： 2023-02-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年10月16日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了刻蝕機用硅電極及硅環(huán)的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存和隨行文件以及訂貨單內(nèi)容。


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