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真空技術(shù) 濺射離子泵

標 準 號： JB/T 4081-2011
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位： 北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責任公司、沈陽真空技術(shù)研究所
發(fā)布日期： 2011-12-20
實施日期： 2012-04-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年03月03日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了普通型式的濺射離子泵的型式與基本參數(shù)、要求、測量方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存及質(zhì)量保證要求。
本標準適用于普通型式的濺射離子泵。

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