本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了真空離子鍍膜設(shè)備的型式與基本參數(shù)、技術(shù)要求、設(shè)備檢驗(yàn)及其品質(zhì)評(píng)價(jià)、質(zhì)量承諾以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電弧蒸發(fā)離子鍍膜設(shè)備;電子束蒸發(fā)離子鍍膜設(shè)備;磁控濺射離子鍍膜設(shè)備;上述三類離子鍍膜設(shè)備的組合。其它類型的具有離子鍍膜特征的設(shè)備可參照?qǐng)?zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)。