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離子束蝕刻機完好要求和檢查評定方法
標 準 號：
SJ/T 31100-1994
替代情況：
發(fā)布單位：
電子工業(yè)部
起草單位：
電子工業(yè)部第48所
發(fā)布日期：
1994-04-15
實施日期：
1994-06-01
點 擊 數(shù)：
更新日期：
2021年09月13日
內(nèi)容摘要
本標準規(guī)定了半導體器件生產(chǎn)用離子束蝕刻機的完好要求和檢查、評定方法。
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Tag:
安全標準
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蝕刻機
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