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反滲透裝置完好要求和檢查評(píng)定方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： SJ/T 31455-1994
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部
起草單位： 國(guó)營(yíng)華東電子管廠
發(fā)布日期： 1994-04-15
實(shí)施日期： 1994-06-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2021年09月05日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)元器件生產(chǎn)用電子級(jí)水制造設(shè)備反滲透裝置的完好要求和檢查、評(píng)定方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)企業(yè)電子元器件，集成電路制造以及清洗工序用電子級(jí)水制造的反滲透裝置。

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