本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅諧振式壓力傳感器的術(shù)語和定義、分類與命名、基本參數(shù)、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸及貯存。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅諧振式壓力傳感器。