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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氦質(zhì)譜真空檢漏方法實(shí)施的一般要求,三種常用的氦質(zhì)譜真空檢漏方法在應(yīng)用對(duì)象、系統(tǒng)組成、檢漏程序等方面的要求以及對(duì)檢漏文件的要求。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于各行業(yè)中采用氦質(zhì)譜真空檢漏方法的部件、組件、分系統(tǒng)級(jí)以及系統(tǒng)級(jí)產(chǎn)品。