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微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS諧振敏感元件非線性振動(dòng)測(cè)試方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 34898-2017
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心
發(fā)布日期： 2017-11-01
實(shí)施日期： 2018-05-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2018年04月15日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了諧振式傳感器中MENS諧振敏感元件非線性振動(dòng)特性參數(shù)的測(cè)試方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于敏感元件在研制和生產(chǎn)過(guò)程中關(guān)于非線性振動(dòng)特性和敏感元件閉環(huán)系統(tǒng)頻率偏移的測(cè)試，其他非MENS敏感元件可參考使用。

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