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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了MEMS高g值加速度傳感器的電氣性能和基本性能的術(shù)語和定義、試驗(yàn)條件、試驗(yàn)的一般規(guī)定、試驗(yàn)項(xiàng)目及方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于量程在1×104g~2×105g范圍的MEMS高g值加速度傳感器(以下簡稱加速度傳感器)性能試驗(yàn)。