本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了離子注入機(jī)的術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工藝用電能離子注入機(jī)。其他離子注入機(jī)亦可參照使用。