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真空技術(shù) 磁懸浮分子泵

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): JB/T 12585-2016
替代情況:
發(fā)布單位: 工業(yè)和信息化部
起草單位: 沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所
發(fā)布日期: 2016-01-15
實(shí)施日期: 2016-06-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2017年04月05日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)適用于具有前級(jí)泵的磁懸浮分子泵(以下簡(jiǎn)稱磁浮泵)。

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