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本標準規(guī)定了真空蒸發(fā)鍍膜設備的型號、形式和基本參數(shù)﹑技術要求﹑試驗方法﹑檢驗規(guī)則及標志﹑包裝﹑運輸﹑貯存等要求。 本標準適用于極限壓力在5×10-4 Pa~5×10-3 Pa范圍內(nèi)的真空蒸發(fā)鍍膜設備。