本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了真空鍍膜設(shè)備的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運輸和貯存等要求。 
     本標(biāo)準(zhǔn)適用于壓力在10-5 Pa~10-3 Pa范圍的真空蒸發(fā)類、濺射類、離子鍍類真空鍍膜設(shè)備。