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集成電路TSV三維封裝可靠性試驗方法指南

標 準 號： GB/Z 43510-2023
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 工業(yè)和信息化部電子第五研究所、中國科學院微電子研究所、中國科學院半導體研究所 等
發(fā)布日期： 2023-12-28
實施日期： 2024-04-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2024年02月19日
內容摘要

本文件提供了硅通孔（TSV）三維封裝的工藝開發(fā)驗證用可靠性試驗方法指南。 ?
本文件適用于采用先通孔、中通孔以及后通孔三種工藝流程制造的TSV三維封裝的工藝驗證試驗。

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