本標(biāo)準(zhǔn)給出了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的檢測要求、基本儀器配置和技術(shù)要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的檢測技術(shù)分析與應(yīng)用。