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全方位離子注入與沉積制備類金剛石碳膜 技術條件

標 準 號： QJ 20505-2016
替代情況：
發(fā)布單位： 國家國防科技工業(yè)局
起草單位： 國營一四九廠
發(fā)布日期： 2016-01-19
實施日期： 2016-03-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2017年12月28日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了全方位離子注入與沉積技術制備的類金剛石碳膜的質(zhì)量要求、質(zhì)量保證規(guī)定和包裝、貯存和運輸及技術安全及環(huán)境保護要求。

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