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掃描探針顯微鏡漂移速率測(cè)量方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 29190-2012
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)、上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院
發(fā)布日期: 2012-12-31
實(shí)施日期: 2013-06-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2017年01月03日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了SPM 漂移速率的術(shù)語(yǔ)和定義、縮略語(yǔ)、測(cè)量步驟、性能參數(shù)規(guī)格,及基于SPM 掃描圖像的漂移速率測(cè)量基本方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率測(cè)量。本標(biāo)準(zhǔn)中的漂移測(cè)量不適用于圖像校正。

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