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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了SPM 漂移速率的術(shù)語(yǔ)和定義、縮略語(yǔ)、測(cè)量步驟、性能參數(shù)規(guī)格,及基于SPM 掃描圖像的漂移速率測(cè)量基本方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率測(cè)量。本標(biāo)準(zhǔn)中的漂移測(cè)量不適用于圖像校正。