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硅片徑向電阻率變化的測量方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 11073-2007
替代情況：
發(fā)布單位： 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 峨嵋半導(dǎo)體材料廠
發(fā)布日期： 2007-09-11
實(shí)施日期： 2008-02-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2020年03月13日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用直排四探針法測量硅片徑向電阻率變化的方法。

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