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低位錯(cuò)密度磷化銦拋光片蝕坑密度的測量方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： SJ/T 11489-2015
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位： 工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院
發(fā)布日期： 2015-04-30
實(shí)施日期： 2015-10-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2018年11月21日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了低位錯(cuò)密度磷化銦（InP）拋光片腐蝕坑密度（EPD）的測量方法。

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