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納米幾何量標(biāo)準(zhǔn)樣板測試方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 43915-2024
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 中國電子科技集團公司第十三研究所
發(fā)布日期： 2024-04-25
實施日期： 2024-11-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2024年05月24日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了納米幾何量標(biāo)準(zhǔn)樣板測試方法的分類及原理、測試設(shè)備、測試環(huán)境、測試程序及測試數(shù)據(jù)處理。


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