本文件界定了以光柵特征與標稱位置偏差來解釋光柵的全局和局部質量參數(shù)的通用術語，并提供了測定參數(shù)所用的測量與評價方法分類的指南，以及在納米技術的不同應用領域保證生產和使用光柵質量的指南。
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