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本文件規(guī)定了氦氣純化器的術語和定義、型號、基本參數(shù)、要求、性能參數(shù)測定、檢驗規(guī)則、出廠資料、標識、包裝、運輸和貯存。 本文件適用于采用液氮為低溫冷源的氦氣純化器。