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工業(yè)用混合氣體 硅烷/氮氣

標 準 號: HG/T 5895-2022
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 廣東華特氣體股份有限公司、昊華氣體有限公司西南分公司
發(fā)布日期: 2022-10-20
實施日期: 2023-04-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年06月14日
內容摘要

本文件規(guī)定了工業(yè)用氮中硅烷混合氣體的制備方法、試驗方法,確立了檢驗規(guī)則,規(guī)定了混合氣體的技術要求、標志、包裝、儲存及安全信息的要求。
本文件適用于由電子工業(yè)用硅烷和高純氮(或超純氮)為原料制備的混合氣體。

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