本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅烷氣體的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全的內(nèi)容。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅化鎂法、氫化鋁鈉還原四氟化硅法、氯硅烷歧化工藝法制備的電子工業(yè)用硅烷。 ?它主要用于制作高純多晶硅、二氧化硅的低溫化學(xué)氣相淀積、氮化硅化學(xué)氣相淀積、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長(zhǎng)原料以及離子注入源和激光介質(zhì)等，還可用于制作太陽能電池、光導(dǎo)纖維和光電傳感器等。