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含氟蝕刻廢液處理處置方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 34697-2017
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 重慶大學(xué)等
發(fā)布日期： 2017-11-01
實(shí)施日期： 2018-05-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2018年05月31日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了含氟蝕刻廢液組成、處理處置方法及環(huán)境保護(hù)要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于TFT-LCD液晶顯示屏玻璃蝕刻、光伏行業(yè)蝕刻、IC硅片蝕刻、電極箔蝕刻及稀土蝕刻所產(chǎn)生含氟蝕刻廢液的處理處置。

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