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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用于評估掃描電子顯微鏡(SEM)生成的數(shù)字圖像銳度的3種方法:傅立葉變換(FT)法、襯度?梯度(CG)法、導(dǎo)數(shù)(DR)法。