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本標準規(guī)定了高純氟化銨溶液的分級、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、標簽、包裝、運輸、貯存和安全。 本標準適用于高純氟化銨溶液。該產(chǎn)品主要應用于集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗、蝕刻等行業(yè)。