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高純氟化銨溶液

標 準 號: GB/T 30901-2014
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 浙江凱恒電子材料有限公司、福建省邵武市永飛化工有限公司、鷹鵬集團/宣城亨泰化工科技有限公司
發(fā)布日期: 2014-07-08
實施日期: 2014-12-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2017年12月08日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了高純氟化銨溶液的分級、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、標簽、包裝、運輸、貯存和安全。
本標準適用于高純氟化銨溶液。該產(chǎn)品主要應用于集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗、蝕刻等行業(yè)。

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