本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子背散射衍射分析方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于安裝了電子背散射衍射附件的掃描電鏡和電子探針進(jìn)行物相識別、晶體取向、顯微織構(gòu)以及晶界特性等方面的分析。