本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了輝光放電發(fā)射光譜法測(cè)定材料表層薄膜的厚度、質(zhì)量（單位面積）和化學(xué)成分的方法。?本標(biāo)準(zhǔn)僅限于輝光放電發(fā)射光譜法深度剖析定量化通用規(guī)程的描述，并不能直接應(yīng)用于具有不同厚度和元素的待測(cè)個(gè)體材料的定量化。?注： 任何一個(gè)針對(duì)測(cè)試材料表面分析的標(biāo)準(zhǔn)均需要明確表層厚度和分析元素，并提供實(shí)驗(yàn)室間共同實(shí)驗(yàn)結(jié)果以確認(rèn)方法的有效性。