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硅基MEMS制造技術(shù) 氫氧化鉀腐蝕工藝規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 28275-2012
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所、重慶大學(xué)、東南大學(xué)、中國電子科技集團(tuán)第四十九研究所等
發(fā)布日期： 2012-05-11
實(shí)施日期： 2012-12-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2016年11月24日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用氫氧化鉀腐蝕工藝進(jìn)行MEMS器件加工時(shí)應(yīng)遵循的工藝要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于氫氧化鉀腐蝕工藝和管理。

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