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>>正文
硅多晶
標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)：
YB 1601-1983
替代情況：
發(fā)布單位：
中華人民共和國(guó)冶金工業(yè)部
起草單位：
峨眉半導(dǎo)體材料廠
發(fā)布日期：
1983-08-18
實(shí)施日期：
1984-10-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期：
2011年12月25日
內(nèi)容摘要
本標(biāo)準(zhǔn)適用于三氯氫硅、四氯化硅氫還原法和硅烷熱分解法抽取的棒狀高級(jí)硅多晶。
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塑料襯里設(shè)備 電火花試驗(yàn)方法【作廢】
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Tag:
安全標(biāo)準(zhǔn)
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硅多晶
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