本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氨的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法,檢驗(yàn)規(guī)則及產(chǎn)品的包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存及安全要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工業(yè),氮化硅、氮化鎵的化學(xué)氣相淀積,也可用于硅或氧化硅的氮化。