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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了單晶硅生長用石英坩堝的術(shù)語和定義、分類和標(biāo)記、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于用高純石英砂做原料,采用電弧法工藝生產(chǎn),應(yīng)用于直拉法生長單晶硅材料的石英坩堝。