本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜（ICP-AES）法測(cè)定半導(dǎo)體拋光液用硅溶膠中雜質(zhì)元素含量的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）中拋光液用的各種硅溶膠。
混凝土壩智能溫控系統(tǒng)規(guī)范公路工程機(jī)制砂水泥混凝土質(zhì)量管理指南公路工程建設(shè)項(xiàng)目首件工程制實(shí)施管理…公路涉路施工活動(dòng)技術(shù)評(píng)價(jià)規(guī)范公路隧道維修加固技術(shù)規(guī)程高速公路瀝青路面抗車轍性能評(píng)價(jià)技術(shù)…展覽和體育建筑設(shè)計(jì)防火技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)智慧停車場(chǎng)（庫(kù)）交通設(shè)計(jì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)
