一、目的
消除一切使設(shè)備遭到損壞、使人身健康與安全受到威脅、使環(huán)境遭到污染的因素或現(xiàn)象,避免設(shè)備事故的發(fā)生,實現(xiàn)安全正常生產(chǎn)。
二、適用范圍
本公司鍍膜機的安全生產(chǎn)管理的全過程。
三、安全操作規(guī)程
1、開機前先檢查各真空泵的油位高度,如有不足要補充后再開機。
2、開高閥前必須對濺射室抽低真空,待壓力達到5Pa時,方可打開高閥,不允許直接用擴散泵抽高于5Pa壓力的濺射室。
3、操作或維修高閥時,閥兩側(cè)壓力基本一致時才能開高閥。
4、對濺射室充氣前,應(yīng)首先切斷真空計的高真空測量,以免損壞電離規(guī)管。
5、設(shè)備使用中途停水時,應(yīng)立即切斷擴散泵和濺射電源。
6、設(shè)備使用中途停電時,應(yīng)將真空計的電離規(guī)管關(guān)閉,關(guān)壓電閥,關(guān)“充氣閥”,關(guān)濺射電源,關(guān)工件旋轉(zhuǎn)和烘烤電源等,待來電后重新啟動。
7、應(yīng)根椐使用情況定期觀察弧靶腐蝕溝道的情況及時更換新靶材。
8、拆裝弧靶時,應(yīng)先關(guān)閉冷卻水,拆下水管,用壓縮空氣吹凈靶體內(nèi)的水,防止水滴在濺射室內(nèi);并且不能損傷靶體,尤其是密封面。
9、更換靶材時,不能損壞密封表面、靶陰極體及靶零件,必須清除油污及汗?jié)n。
10、開啟濺射室蓋時,室內(nèi)應(yīng)處于常壓,決不允許真空室處于真空狀態(tài)時開啟室蓋。
11、操作人員必須嚴格按設(shè)備操作指導(dǎo)書和安全操作規(guī)程進行作業(yè),注意設(shè)備本身及設(shè)備運行中的安全,特別要重視安全裝置的檢查與使用。
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