1、物質(zhì)的危險危害
芯片生產(chǎn)過程中,使用多種化學(xué)物品,廠區(qū)內(nèi)設(shè)有儲存這些化學(xué)物品的化學(xué)品庫,化學(xué)品種類達80種。按照GB13690-92《常用危險化學(xué)品的分類及標(biāo)志》規(guī)定中對常用危險化學(xué)品,按其主要危險特性進行分類,該項目中使用的危險化學(xué)品有壓縮氣體和液化氣體,易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別,這些物質(zhì)的主要危險危害為:
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