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半導(dǎo)體制造業(yè)工藝廢氣污染及治理對(duì)策研究

文檔作者：劉軍文檔來(lái)源：上海浦東新區(qū)環(huán)境保護(hù)和市容衛(wèi)生管理局		點(diǎn) 擊數(shù)：	更新時(shí)間： 2014年02月18日
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半導(dǎo)體工亞是技術(shù)較為先進(jìn)的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè), 但在生產(chǎn)過(guò)釋中產(chǎn)生的污染問(wèn)題, 同樣不能被忽略, 其中、工藝慶氣污染問(wèn)題是特別值得關(guān)注的。本文針對(duì)半導(dǎo)體芯片制透業(yè)產(chǎn)生叻工藝廢氣的污染洽理及風(fēng)險(xiǎn)防范進(jìn)行了研究。